什么是氦氣泄漏檢測(cè)儀？

更新時(shí)間：2025-06-05

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氦氣泄漏檢測(cè)儀是一種使用氦氣檢測(cè)設(shè)備內(nèi)部微小泄漏的測(cè)量裝置。

使用真空泵和質(zhì)譜儀，通過(guò)向樣品噴灑氦氣來(lái)確定是否存在泄漏。氦氣在大氣中的含量極少，且化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。這種方法充分利用了氦氣的穩(wěn)定性，即使是微小的泄漏也能準(zhǔn)確檢測(cè)，具有的優(yōu)勢(shì)。

它是一種在半導(dǎo)體制造工序等多種場(chǎng)合使用的設(shè)備。其泄漏檢測(cè)精度高，基本原理是利用氦氣作為標(biāo)記物來(lái)檢測(cè)泄漏的簡(jiǎn)單方法。此外，部分型號(hào)還配備了減少檢測(cè)用氦氣消耗量的功能，從而更容易進(jìn)行高效測(cè)量。

氦氣泄漏檢測(cè)儀的應(yīng)用

氦氣泄漏檢測(cè)器用于以下應(yīng)用：

1.半導(dǎo)體制造

在半導(dǎo)體制造工序中，必須保持高真空度，即使是微小的氣體泄漏也不容忽視。使用氦氣作為示蹤劑的氦氣檢漏儀有助于高效、準(zhǔn)確地檢測(cè)泄漏。該檢漏儀用于檢查真空室和真空泵，是維護(hù)精密設(shè)備質(zhì)量的設(shè)備。

2.醫(yī)療

氦氣泄漏檢測(cè)儀也越來(lái)越多地應(yīng)用于對(duì)安全性要求較高的領(lǐng)域，例如醫(yī)療設(shè)備。例如，呼吸機(jī)和透析機(jī)等醫(yī)療設(shè)備內(nèi)部的氣體泄漏可能會(huì)造成嚴(yán)重問(wèn)題。使用氦氣泄漏檢測(cè)儀，可以更容易地在接頭和管道接縫等細(xì)微處及早發(fā)現(xiàn)泄漏。

3.其他行業(yè)

它還適用于工業(yè)設(shè)備和研究設(shè)施中各種管道的檢測(cè)。在化工廠中，早期發(fā)現(xiàn)管道中的氣體或液體泄漏至關(guān)重要，而氦氣泄漏檢測(cè)儀的精確測(cè)量技術(shù)得到了廣泛應(yīng)用。在檢查各種測(cè)試設(shè)備和壓力容器時(shí)，它還能快速識(shí)別極小的泄漏，使其成為一項(xiàng)提高工作效率的寶貴技術(shù)。在需要嚴(yán)格質(zhì)量控制的領(lǐng)域，它是不可少的設(shè)備。

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