什么是 FIB-SEM？

更新時間：2025-01-18

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FIB-SEM（聚焦離子束掃描電子顯微鏡）是一種高分辨率三維成像和樣品處理技術。

FIB 代表聚焦離子束。使用高能離子束刮擦樣品表面，進行詳細處理和觀察。離子束可以以非常小的光斑尺寸聚焦在樣品上，從而允許亞微米或納米級的處理和觀察。

SEM 代表掃描電子顯微鏡。采用高能電子束掃描樣品表面，以高分辨率觀察其表面形狀和結構。 SEM 能夠生成詳細的三維圖像，與 FIB 結合時，可以描繪樣品的內部結構。

FIB-SEM由于其高分辨率和三維成像能力而被應用于各種科學和工程領域。以下是如何使用 FIB-SEM 的示例。

FIB-SEM 對于研究納米級材料非常有用。它用于分析金屬納米粒子的形狀和分布以及納米復合材料內異種材料的排列。這使得新材料的設計和納米技術的應用成為可能。

它還用于研究半導體器件和磁性材料的內部結構，以及研究器件性能。它在材料工程和電子器件制造領域有著重要的應用。

它用于研究生物樣品的詳細結構。可以高分辨率觀察細胞的內部結構和細胞核的結構。可用于細胞生物學、癌癥研究等。

它還用于可視化活體組織的三維結構并了解組織微觀結構和病理變化。它在生物學和醫學診斷相關領域具有重要的應用。

FIB-SEM 用于分析地球巖石和礦物的微觀結構。可以詳細研究巖石和礦物的晶體結構和晶體生長歷史。這對于理解巖石形成和變化的機制以及破譯地球的歷史很有用。

FIB 的主要元件是高能離子束。通常使用鎵離子。離子束可以聚焦到特定區域，從而可以將能量以非常小的光斑尺寸集中在樣品上。

這種高能光束用于掃描樣品表面并以高分辨率觀察其表面形狀和結構。這使得可以可視化樣品的詳細表面拓撲。

由于其高分辨率，廣泛應用于包括材料工程在內的各個領域。它是納米級和微米級研究和分析的重要工具之一。

選擇 FIB-SEM 時應考慮幾個因素。以下是 FIB-SEM 選擇因素的示例。

分辨率是觀察樣品上微小結構和細節的程度的指標。分辨率越高，可以觀察到的結構越精細。分辨率與電子束的尺寸有關，較小的電子束尺寸可以進行高分辨率的觀察。

離子源是 FIB 的核心部分，用于選擇所使用的離子類型。鎵離子源是常見的，但也可以使用非鎵離子源。鎵適用于軟材料，但鎵以外的離子源通常用于硬材料。

FIB-SEM 中的加速電壓是對電子束和離子束施加能量的量度。加速電壓越高，離子束或電子束加速得越快，使其能夠更深地穿透樣品。然而，將電壓提高得太高會增加對樣品的損壞。

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